半导体测试解决方案

半导体产测是电子测量技术的价值高地,直接服务于晶圆制造、封装测试量产环节,市场空间巨大,且绑定半导体产能扩张与国产替代双重红利,景气度与业绩弹性显著更高。产测更强调高精度、高吞吐与自动化协同。

普源精电(RIGOL)仪器仪表覆盖 MOSFET/IGBT/SiC 器件表征、晶圆漏电筛查及封装参数分选等核心场景。AI 芯片、汽车电子、先进封装持续放量,叠加出口管制下的替代窗口,测试需求量价齐升。

半导体测试解决方案

SMU新品落地半导体测试,普源精电开辟全新增长曲线

普源精电即将发布面向晶圆厂与封装测试产线场景的DSU2000系列台式精密源测量单元(SMU)SUP5000系列PXIe高密度源测量系统,标志着公司完成向半导体产测赛道的场景跨越与延伸,打开了全新的增长曲线。

除了以源表为核心的静态参数测试外,普源精电还提供基于示波器、探头、信号源与直流电源协同构成的动态测试方案,覆盖器件从研发验证到量产导入的全链路需求。面向 800V HVDC 数据中心电源架构,公司推出 SiC / GaN 功率器件动态参数测试方案,可精准捕获开关瞬态、反向恢复及寄生参数等关键指标,支撑第三代半导体在高压、高频场景下的可靠性验证与批量导入。同时,方案延伸至电源质量分析场景,助力工程师评估纹波、瞬态响应及电能质量;并配套教育级动态测试平台,服务高校与科研机构在功率电子、微电子等方向的实验教学与人才培养,形成“静态 + 动态”一体化的半导体测试能力矩阵。

RIGOL 半导体静态测试解决方案

晶圆级静态测试

DSU2000 搭配探针台,可构建高效晶圆级静态参数测试方案。产品 500 fA 级测量灵敏度与超低噪声底,直接支撑 pA~nA 漏电筛查,无需外置放大器;6½ 位分辨率配合 ±220 V / ±1.1 A 四象限输出,可完成 MOSFET、IGBT、SiC 等器件 I-V 曲线、阈值电压及击穿特性表征。2 Msps 高速采样提升单晶圆批量扫描效率,Digital I/O 触发接口便于与探针台联动,助力晶圆厂实现高精度、高吞吐的在线筛选与良率管控。

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封装后成品终测

DSU2000 面向封装后器件成品终测(FT)场景,可快速嵌入分选机或 ATE 测试工位。双通道 40 W 四象限架构单台即可完成漏电流、导通压降、击穿电压等关键参数批量扫描;500 fA 级灵敏度保障微安级漏电分选精度,2 Msps 高速采样配合 10 M 点缓存显著提升单工位 UPH。产品兼容主流 SMU 指令集,支持 GPIB、LAN 及 Digital I/O 多机同步,产线程序可零代码迁移,助力封装测试厂实现高效率、低切换成本的成品参数分选与良率管控。

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SUP5000 Mini LED 显示面板驱动芯片测试

SUP5000系列PXIe高密度源测量系统面向Mini  LED 显示面板驱动芯片测试,单模块最高 24 通道、1.5U 机箱可集成 48 路,可扩展成 4U 机箱 348 路,能够覆盖多路静态恒流精度、关断漏流电流及通道失调筛查需求。13 pA / 13 μV 级分辨率保障皮安级驱动精度与一致性判定;四象限输出配合多通道同步控制与 1 MSa/s 采样,可高效完成多通道 I-V 扫描、恒流精度及序列波形响应测试。模块化架构便于嵌入 ATE 系统,可快速构建覆盖晶圆 CP、研发验证、量产 FT 全流程并行测试体系,助力驱动芯片研发验证与量产分选。

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半导体静态测试仪器

DSU2000系列 台式精密源表

DSU2000系列是普源精电即将首次发布的台式精密源测量单元,提供了最多两个通道的四象限电源输出和测量的能力,每个通道均具备40W的最大输出功率,±220V/±1.1A的电压电流范围,以及最小50us脉宽,最大3A的电流脉冲输出能力,其中最小电流底噪<500 fA,电压噪声< 1 μV;并支持直流、脉冲、扫描及列表输出功能。

该产品面向半导体表征、光电、新能源研发及产线自动化测试场景,可实现高功率、高速、低噪声的精密源测量。

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SUP5000系列 多通道SMU

SUP5000系列产品是一款高精度、高集成度的多通道源测量单元,支持恒压、恒流工作模式,支持四象限输出;支持多通道并联扩展电流范围;提供电压电流高级序列功能,支持流式序列波形输出;支持多通道道同步测量与存储功能。

产品支持用户对业务系统进行二次开发,灵活扩展应用场景。强大的软件平台提供开放式接口,便于客户在半导体器件测试、新能源材料测试、传感器校准、精密电子元件表征等领域构建自动化测试流程或定制化解决方案。


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半导体动态测试 解决方案

半导体动态测试解决方案

普源精电(RIGOL)适配 800V HVDC 碳化硅 / 氮化镓器件测试,依托双脉冲方案;规范探头校准,覆盖多场景半导体动态检测。

电源质量分析

普源精电(RIGOL)示波器配电源分析选件及高压差分探头,可自动测 11 项电源参数;自带伯德图,一键完成开关电源频响分析。

校企携手,育见未来

普源精电(RIGOL)联动五十余所高校共建联合实验室,配套教学测试平台;兼顾微电子教研,打造“静态 + 动态”一体半导体测试方案。

半导体动态测试仪器

New
MHO/DHO5000
Analog Bandwidth
Analog Channels
Maximum Real-time Sample Rate
Maximum Memory Depth
Maximum Waveform Capture Rate
Digital Channel
New
DG5000 Pro
Maximum Output Frequency
Sample Rate
Vertical Resolution
Number of Channels
Arbitrary Waveform Length
New
DP2000
Number of Channels
Total Power
Programming Resolution
Display Resolution
Communication Interface

技术支持

普源精电配备专业技术服务团队,为客户提供全周期技术支持。覆盖示波器、源测量单元、功率器件测试整套方案的安装调试、操作培训、故障排查,可上门现场技术指导。针对高校科研、半导体产线、电源研发场景定制答疑服务,同步提供线上远程协助,快速解决测试校准、方案搭建难题,全方位保障各类电子测量设备稳定高效运行。