半导体测试解决方案

半导体产测是电子测量技术的价值高地,直接服务于晶圆制造、封装测试量产环节,市场空间巨大,且绑定半导体产能扩张与国产替代双重红利,景气度与业绩弹性显著更高。产测更强调高精度、高吞吐与自动化协同。

普源精电(RIGOL)仪器仪表覆盖 MOSFET/IGBT/SiC 器件表征、晶圆漏电筛查及封装参数分选等核心场景。AI 芯片、汽车电子、先进封装持续放量,叠加出口管制下的替代窗口,测试需求量价齐升。

半导体测试解决方案

SMU新品落地半导体测试,普源精电开辟全新增长曲线

普源精电即将发布面向晶圆厂与封装测试产线场景的DSU2000系列台式精密源测量单元(SMU)SUP5000系列PXIe高密度源测量系统,标志着公司完成向半导体产测赛道的场景跨越与延伸,打开了全新的增长曲线。

除了以源表为核心的静态参数测试外,普源精电还提供基于示波器、探头、信号源与直流电源协同构成的动态测试方案,覆盖器件从研发验证到量产导入的全链路需求。面向 800V HVDC 数据中心电源架构,公司推出 SiC / GaN 功率器件动态参数测试方案,可精准捕获开关瞬态、反向恢复及寄生参数等关键指标,支撑第三代半导体在高压、高频场景下的可靠性验证与批量导入。同时,方案延伸至电源质量分析场景,助力工程师评估纹波、瞬态响应及电能质量;并配套教育级动态测试平台,服务高校与科研机构在功率电子、微电子等方向的实验教学与人才培养,形成“静态 + 动态”一体化的半导体测试能力矩阵。

RIGOL 半导体静态测试解决方案

晶圆级静态测试

DSU2000 搭配探针台,可构建高效晶圆级静态参数测试方案。产品 500 fA 级测量灵敏度与超低噪声底,直接支撑 pA~nA 漏电筛查,无需外置放大器;6½ 位分辨率配合 ±220 V / ±1.1 A 四象限输出,可完成 MOSFET、IGBT、SiC 等器件 I-V 曲线、阈值电压及击穿特性表征。2 Msps 高速采样提升单晶圆批量扫描效率,Digital I/O 触发接口便于与探针台联动,助力晶圆厂实现高精度、高吞吐的在线筛选与良率管控。

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封装后成品终测

DSU2000 面向封装后器件成品终测(FT)场景,可快速嵌入分选机或 ATE 测试工位。双通道 40 W 四象限架构单台即可完成漏电流、导通压降、击穿电压等关键参数批量扫描;500 fA 级灵敏度保障微安级漏电分选精度,2 Msps 高速采样配合 10 M 点缓存显著提升单工位 UPH。产品兼容主流 SMU 指令集,支持 GPIB、LAN 及 Digital I/O 多机同步,产线程序可零代码迁移,助力封装测试厂实现高效率、低切换成本的成品参数分选与良率管控。

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SUP5000 Mini LED 显示面板驱动芯片测试

SUP5000系列PXIe高密度源测量系统面向Mini  LED 显示面板驱动芯片测试,单模块最高 24 通道、1.5U 机箱可集成 48 路,可扩展成 4U 机箱 348 路,能够覆盖多路静态恒流精度、关断漏流电流及通道失调筛查需求。13 pA / 13 μV 级分辨率保障皮安级驱动精度与一致性判定;四象限输出配合多通道同步控制与 1 MSa/s 采样,可高效完成多通道 I-V 扫描、恒流精度及序列波形响应测试。模块化架构便于嵌入 ATE 系统,可快速构建覆盖晶圆 CP、研发验证、量产 FT 全流程并行测试体系,助力驱动芯片研发验证与量产分选。

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半导体静态测试仪器

DSU2000系列 台式精密源表

DSU2000系列是普源精电即将首次发布的台式精密源测量单元,提供了最多两个通道的四象限电源输出和测量的能力,每个通道均具备40W的最大输出功率,±220V/±1.1A的电压电流范围,以及最小50us脉宽,最大3A的电流脉冲输出能力,其中最小电流底噪<500 fA,电压噪声< 1 μV;并支持直流、脉冲、扫描及列表输出功能。

该产品面向半导体表征、光电、新能源研发及产线自动化测试场景,可实现高功率、高速、低噪声的精密源测量。

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SUP5000系列 多通道SMU

SUP5000系列产品是一款高精度、高集成度的多通道源测量单元,支持恒压、恒流工作模式,支持四象限输出;支持多通道并联扩展电流范围;提供电压电流高级序列功能,支持流式序列波形输出;支持多通道道同步测量与存储功能。

产品支持用户对业务系统进行二次开发,灵活扩展应用场景。强大的软件平台提供开放式接口,便于客户在半导体器件测试、新能源材料测试、传感器校准、精密电子元件表征等领域构建自动化测试流程或定制化解决方案。


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半导体动态测试 解决方案

半导体动态测试解决方案

普源精电(RIGOL)适配 800V HVDC 碳化硅 / 氮化镓器件测试,依托双脉冲方案;规范探头校准,覆盖多场景半导体动态检测。

电源质量分析

普源精电(RIGOL)示波器配电源分析选件及高压差分探头,可自动测 11 项电源参数;自带伯德图,一键完成开关电源频响分析。

校企携手,育见未来

普源精电(RIGOL)联动五十余所高校共建联合实验室,配套教学测试平台;兼顾微电子教研,打造“静态 + 动态”一体半导体测试方案。

半导体动态测试仪器

New
MHO/DHO5000
模拟带宽
模拟通道数
最高实时采样率
最大存储深度
最高波形捕获率
数字通道
New
DG5000 Pro
最高输出频率
采样率
垂直分辨率
通道数
任意波长度
New
DP2000
通道数
总功率
编程分辨率
显示分辨率
通讯接口

技术支持

普源精电配备专业技术服务团队,为客户提供全周期技术支持。覆盖示波器、源测量单元、功率器件测试整套方案的安装调试、操作培训、故障排查,可上门现场技术指导。针对高校科研、半导体产线、电源研发场景定制答疑服务,同步提供线上远程协助,快速解决测试校准、方案搭建难题,全方位保障各类电子测量设备稳定高效运行。